招标人:华润微电子(重庆)有限公司
建设地点:重庆
项目规模:
项目资金来源:自筹
项目名称:华润微电子(重庆)有限公司
标段名称:华润和润西微电子有限公司Pumpingline管路清洗项目
招标内容和范围:一、1.对外延机台的Pumping line管路按甲方需求提供清洗服务。期间涉及管路拆装、支架拆装、加热带拆装、孔洞封堵、耗材的更换、管路测试等作业
2.机台详细清单见下表:
2.1 8B外延TEPA01~TEPA07,共计7台,21个腔的Pumping line管路拆除、清洗、安装服务
2.2 12A外延RTEPA01~RTEPA07、RTEPS09,共计8台,20个Chamber的Pumping line管路拆除、清洗、安装服务
二、1.对主FAB机台的Pumping line管路按甲方需求提供清洗服务。期间涉及管路拆装、支架拆装、加热带拆装、孔洞封堵、耗材的更换、管路测试等作业
2.机台详细清单见下表:
2.1 8B蚀刻19台,薄膜23台,炉管8台,共计50个机台、82个Chamber的Pumping line管路拆除、清洗、安装、测试服务
2.2 12A 12A蚀刻6台,薄膜12台,炉管5台,共计24台,59个Chamber的Pumping line管路拆除、清洗、安装、测试服务
交货期/工期:本项目工期为:2026/05~2027/05,项目为配合设备PM清洗。
注:详细内容见招标文件,以招标文件为准。
二、投标人资格能力要求
1、基本要求:投标单位为中华人民共和国境内合法注册的独立法人或其他组织,具有独立承担民事责任能力,具有独立订立合同的权利;
2、业绩要求:1.主FAB Pumpingline管路清洗:2023年1月1日至截止日,至少具有1项Pumping line管路清洗业绩或二次配业绩(业绩内容需包含pumping line管路),须提供项目业绩的合同或订单文件(包含合同或订单首页,合同或订单日期,合同或订单签字或盖章页;若合同或订单无法证明,可提供业主签字或盖章的验收报告或测试报告等给予证明)
2.外延Pumpingline管路清洗:2023年1月1日至截止日,至少具有1项的外延Pumping line管路清洗业绩或二次配业绩(业绩内容需包含pumping line管路),须提供项目业绩的合同或订单文件(包含合同或订单首页,合同或订单日期,合同或订单签字或盖章页;若合同或订单无法证明,可提供业主签字或盖章的验收报告或测试报告等给予证明)
3、安全要求:近三年(自2023年1月1日至投标截止之日)无较大质量、安全事故,投标单位需提供承诺书(格式自拟)。
4、联合体投标人:不允许
5、信誉要求:1.投标人未被“国家企业信用信息公示系统”网站列入严重违法失信企业名单(如:提供网站查询界面截图);2.投标人未被“信用中国”网站列入严重失信主体名单(如:提供网站查询界面截图)。
6、其他要求:1.投标单位提供的投标文件内营业执照、相关资质证书等文件必须在有效期内。
2.未在招标方禁用期企业名单。
三、招标文件的获取
(一)获取时间
2026年04月23日-2026年04月28日
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联系人:陈思颖
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