传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:名称：几何参数测试仪数量：1台设备用途：主要用于MEMS制造中几何参数测试，可测试晶圆****局部平坦度，此次论证设备为电容式测试仪，可高效且不受表面粗糙度影响的几何测试方式，主要应用在SOI系列产品制备过程中关键参数测试。使用几何参数测试仪..
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