政府采购政策情况预算金额(元)预计采购时间备注1聚焦离子束扫描电子显微镜标的名称：聚焦离子束扫描电子显微镜标的数量：1主要功能或目标：用于半导体微纳加工中晶圆截面切割与表征分析、辅助TEM样品制备，以及在器件表面进行纳米级别的加工需满足的要求：********离子束分辨率：≤********@30kV；2.最佳工作距离电子束分辨率：.
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