aiko撕膜机1套，用于8吋线Taiko撕膜工序，为实现半导###路8吋晶圆制造流程中的Taiko撕膜（通过手臂将产品传送到定位中心，定位后传送到UV解胶单元，然后传送撕膜单元，产品在撕膜台盘真空吸附通过撕膜胶带将正面的研磨胶带去除，正面去除研磨胶带后保证正面无残胶）。资金到位或资金来源落实情况:已落实。项目已具...

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