1. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统各1套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
2. 招标内容：
招标项目名称：甬江实验室采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统项目（重招）
项目实施地点：中国浙江
招标产品列表（主要设备）：
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序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
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1 |
双枪电子束蒸发系统 |
1套 |
双枪电子束蒸发系统配置2套电子枪和2套坩埚，在冷泵的作用下达到高真空状态，可用于单金属或者合金薄膜的蒸发，最大支持8英寸晶圆衬底，兼容2英寸、4英寸和6英寸衬底。 |
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2 |
多腔多靶磁控溅射系统 |
1套 |
多腔多靶磁控溅射系统设备主要包括进样传送系统，真空系统、 镀膜工艺系统、辅助工艺系统和工艺控制系统等组成。 |
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3. 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品（双枪电子束蒸发系统、多腔多靶磁控溅射系统）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书。
是否接受联合体投标：不接受
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始时间：2026年2月26日
招标文件领购结束时间：2026年3月4日
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联系人：程姣
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