概况与招标范围：残余气体分析仪53台 招标编号：0730-264********6-02包名称：残余气体分析仪数量：53台简要技术要求：1）所购残余气体分析仪主要用于OLED生产中蒸镀设备残余气体的种类和含量的监控。2）满足蒸镀机所连接的所有的部件3）蒸镀机系统和真空镀膜过程中的残余气体(He/pO/N2/O2/其他气体)分析：提供有关残余气体..

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