1、招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统各1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目名称:甬江实验室采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统项目
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	双枪电子束蒸发系统	1套	双枪电子束蒸发系统配置2套电子枪和2套坩埚，在冷泵的作用下达到高真空状态，可用于单金属或者合金薄膜的蒸发，最大支持8英寸晶圆衬底，兼容2英寸、4英寸和6英寸衬底。	/
2	多腔多靶磁控溅射系统	1套	多腔多靶磁控溅射系统设备主要包括进样传送系统，真空系统、 镀膜工艺系统、辅助工艺系统和工艺控制系统等组成。	/

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品（双枪电子束蒸发系统、多腔多靶磁控溅射系统）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-02-11
招标文件领购结束时间:2026-02-25

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联系人：程姣
电话：010-53605906
手机：15010770853 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：chengjiao@zbytb.com

下载招标公告:甬江实验室采购双枪电子束蒸发系统和多腔多靶磁控溅射系统项目国际招标公告.pdf