的关键支撑。《微电子###路基础》《国产芯片创新实践》等核心课程中,学生需掌握硬脆材料加工、半导体衬底制备等实践技能。目前学院亟需此类专用设备,需满足从金刚石坯料成型到超精抛光的全流程实训需求,该批设备的引入可培养学生掌握金刚石衬底粗磨、精磨、高精度研磨及抛光全制程操作技能,熟练调控研磨压力.
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