彩膜涂布机6台 招标编号:0730-264********1-06包名称:彩膜涂布机数量:6台简要技术要求:1)本系统是一个在玻璃基板上进行光阻涂布和真空干燥的自动制程系统,可以在玻璃基板上进行光阻材料涂布、涂布后进行真空干燥制程,可在短时间(节拍时间)内对彩膜黄光制程进行高精度处理。2)采用Gantry运动涂布方式。3)类型1:..
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