标范围 项目概况与招标范围：扫描投影式曝光机1台 招标编号：0730-264********5-01包名称：扫描投影式曝光机数量：1台简要技术要求：1）主要用途为曝光过程，将光罩上设计之图形完整转移至基板光阻上，完整的意义为大小与位置皆符合设计规格；控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。2）机台整体..

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