概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：氮化硅/硅光波导刻蚀机********数量：壹套 ********设备用途及系统组成：设备用途：该设备利用高频电磁场通过感应耦合方式产生高密度等离子体，实现高精度、高选择性和高深宽比的介质薄膜刻蚀（例如氧化硅、氮化硅、硅等）。系统组成：氮化硅/硅光波导刻蚀机主要由工艺腔..
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