一、采购标的名称:双束场发射扫描电子显微镜(FIB-SEM)。二、采购标的需实现的功能或目标:采购标的需集高分辨率场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)与高性能聚焦离子束(FIB)于一体,主要功能与目标:(1)超高分辨率显微成像:低电压下具备优于******** nm的高空间分辨率成像能力,适用于各类样品的表面形貌与微观结构观察。(2)精确微纳加工与制备:利用聚焦离子束实现纳米尺度的定点切割、沉积、抛光等加工,以及透射电镜和原子探针样品等特定截面样品的自动化、高精度制备。(3)三维重构与分析:通过FIB的逐层切割与SEM的同步成像,实现对材料微观结构的三维可视化重构与定量分析。(4)集成化综合分析:系统需具备能谱仪、电子背散射衍射等扩展接口或集成能力,实现在同一平台上的形貌、成分、晶体结构等多维度综合分析。
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