一、项目基本情况
项目名称：纳米材料快速制备系统（二次）
采购方式：竞争性磋商
预算金额：192.500000万元（人民币）
最高限价（如有）：192.500000万元（人民币）
采购需求：
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包号 |
标的名称 |
采购包预算金额 （万元） |
数量 |
简要技术需求或服务要求 |
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01 |
纳米材料快速制备系统 |
192.5 |
1套 |
制备均匀性优于+/-0.35% 阶梯覆盖率100%，并可以实现大于100：1的大深宽比深孔沉积，可以真正意义上控制原子层级别的厚度生长 预留后期以较低成本升级到PEALD的应用工艺腔体 |
注：供应商必须针对本项目所有内容进行响应，不允许拆分响应。
合同履行期限：自合同签订之日起6个月内交付到货并验收合格。
本项目(不接受)联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
2.1中小企业政策
本项目不专门面向中小企业预留采购份额。
2.2其它落实政府采购政策的资格要求（如有）：无。
3.本项目的特定资格要求：3.1本项目是否属于政府购买服务：否3.2其他特定资格要求：无。
三、获取采购文件
时间：2026年01月15日至2026年01月22日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
售价：￥500.0元（人民币）四、响应文件提交
截止时间：2026年01月27日09点30分（北京时间）
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联系人：张培
电话：010-53658120
手机：13718359801 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：zhangpei@zbytb.com
