一、项目基本情况 1.项目编号：ZKX********A001 2.项目名称：光学介质薄膜沉积设备 3.项目预算金额：180万元、项目最高限价：180万元 4.采购需求： 包号 标的名称 采购包预算金额 （万元） 数量 简要技术需求或服务要求 01 光学介质薄膜沉积设备 180 1套 本设备主要用于氮化硅（SiNx）等介质光学薄膜的沉积。通过本设备的采购，可在实验室目前薄膜沉积能力（金属薄膜为主）基础上，新增高质量介质薄膜沉积能力（薄膜厚度不均匀度≤5%），突破当前光学介质薄膜工艺对研发能力的限制，支撑平面介质超表面的高精度加工，提升实验室在高精度微纳光子制造领域的核心能力。 本设备主要由化学气相沉积反应室系统、射频系统、传输模块、真空###路系统等部分系统组成。 5.合同履行期限：合同签订后6个月内交货。 6.本项目是否接受联合体投标：□是 否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： ******** 中小企业政策 本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行：__________________。 ******** 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）：无。 3.本项目的特定资格要求： ********本项目是否接受分支机构参与投标：□是 否； ********本项目是否属于政府购买服务： 否 □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； ********其他特定资格要求：无。 ********拒绝列入政府取消投标资格记录期间的企业或个人投标； ********投标人不得为“****网站中列入失信被执行人和重大税收违法失信主体名单的投标人；不得为中****网（********）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的投标人（在处罚决定规定的时间和地域范围内）（详见财库【2016】125号文）； ********与采购人存在利害关系可能影响招标公正性的法人、其他组织或者个人，不得参加本项目投标；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动。
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