青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目招标公告

日期:2026-01-13 收藏项目

1.招标条件

招标项目名称：青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目

招标人：国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司

项目业主：青海黄河上游水电开发有限责任公司

立项情况：已立项

项目资金来源：资金由项目业主负责，现已落实到位

项目已具备招标条件，现进行公开招标

(请登录)受招标人委托，就对下述标段进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

2.1项目概况

详见招标文件。

2.2招标范围

标段名称

招标范围

工期要求

交货地点

信息服务费（元）

青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目

DNYZC-2026-01-12-011-02

招标范围

（1）主要设备：采购真空蒸镀设备1套，主要包括基片装置、蒸发沉积系统、真空系统、膜厚监控系统、电气控制系统及水冷系统等，同时包含设备所必须的安装附件及辅助设备、随机文件、技术资料（包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手册），负责运输、安装、调试、检验、验收并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。

（2）备品备件：掩膜版、钨舟、钼舟、石英坩埚、晶振片、CF35铜垫圈、匹配设备规格的密封圈等；

（3）专用工器具：拆卸、安装、检修设备时专用的工器具1套（包含外六方扳手、内六方扳手、螺丝刀、扳手等工具）。

构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工作内容之内。

2.3主要配置及技术参数

2.3.1真空蒸镀设备主要配置

序号	性能指标名称	技术要求	备注
1.1	真空镀膜室
1.1.1	材料及结构	真空室采用304不锈钢，腔体内壁电解抛光处理，减少表⾯放⽓；须保留前后门，便于对腔体内部进行维护
1.1.2	观察窗	由保护玻璃、硬质玻璃组合而成，需符合X射线防护国家标准
1.1.3	腔体漏率	漏率优于5.0×10-10Pa.m3/S，保压12小时后，压强≤5Pa。
1.2	蒸镀真空系统
1.2.1	极限真空度	系统洁净、空置时优于5×10-5pa
1.2.2	分子泵	抽气速率不小于3000L/s
1.2.3	机械泵	抽气速率不小于25m3/h
1.2.4	真空测量时间	大气环境万级洁净间氛围下从常压抽至≤5×10-4pa时间≤30min；
1.2.4	极限真空测量	测量范围从1×105Pa到5.0×10-5Pa
1.2.4	真空密封	采用金属密封和氟橡胶圈密封
1.3	蒸发室基片装置
1.3.1	基片材料	导电玻璃
1.3.2	样品尺寸	400mm×400mm的样品且可向下兼容更多尺寸
1.3.3	基片托盘	通过电机旋转0~30rpm可调
1.4	蒸发源和蒸发电源
1.4.1	蒸发源	配备2组金属蒸发源和4组有机蒸发源，可兼容蒸镀金属、有机及无机材料；源与源之间均配有防止交叉污染的防污板
1.4.2	金属蒸发电源	配备可编程的直流稳压金属蒸发电源1套，金属蒸发电源功率≥1.5KW及以上，最高升温温度可达1500℃，且通过电流控制方式，精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01Å/s的精度显示，可进行电流、电压模式的任意切换和具有水冷控制
1.4.3	有机蒸发电源	配备有机蒸发电源1套；可通过电流或PID智能温控方式进行控制（采用电流控制方式时需精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01Å/s的精度显示，可进行电流、电压模式的任意切换和具有水冷控制；采用PID智能温控方式时控温精度±1℃）；
1.4.4	控制系统	采用PLC+PC控制方式
1.4.5	安全保护措施	缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护。
1.5	膜厚监测系统
1.5.1	膜厚仪	不少于1组膜厚仪，不少于2套膜厚检测探头
1.5.2	蒸发速率测量精度	0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)
1.5.3	膜厚仪测量精度	膜厚仪测量精度优于±0.01Å/s，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜且挡板关闭
1.5.4	温度控制精度	±1℃（RT~700℃）
1.5.5	厚度测量精度	优于±1Å；具备与电源联锁功能
1.5.6	片内膜厚不均匀性	≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范围内的薄膜材料：包括但不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招标方指定材料进行验证），测试方法：薄膜有效区范围内3×3排列9点测量：不均匀性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%
1.5.7	片间膜厚不均匀性	≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范围内的薄膜材料：包括但不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招标方指定材料进行验证），测试方法：薄膜有效区范围内3×3排列9点测量：不均匀性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%。
1.6	自动镀膜系统	开启后根据用户设置的升降温和蒸发速率参数，自动升温加热蒸发材料，按照制定速率蒸镀，到达设定厚度后自动关闭挡板，并降温
1.7	水冷系统
1.7.1	冷水机	控温范围：5℃~30℃
1.8	工艺支持	投标人提供C60和BCP作为钙钛矿器件电子传输层的蒸镀工艺，保证招标方在其他薄膜层制备条件不变时采用该工艺制备电子传输层的钙钛矿太阳能电池性能不低于招标方使用旋涂法制备PCBM和BCP作为电子传输层的性能。

注：其他未列入本表的参数应能满足设备整体工艺安全运行性能，并符合设备配置参数及国家标准

合同签订生效后90日内整批交货（包含备件及工具）（详见第二卷第五章供货要求）

本项目位于陕西省

300

注：以上为参考参数和数量,具体参数、数量及招标范围以招标文件相关内容为准。

3.投标人资格要求及业绩要求

标段名称

资格要求及业绩要求

青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目

DNYZC-2026-01-12-011-02

投标人资格要求

投标人基本资格要求

（1）投标人具有独立订立合同的资格；

（2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”网站网站查询为准,没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、冻结、破产状态；

（3）财务状况及资信

近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供银行出具的资信证明、纳税人资格证明。

（4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合同被解除的情形；

（5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标；

专用资格条件

资质要求

投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的真空蒸镀设备制造企业或代理企业。代理企业必须提供真空蒸镀设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、同一型号）只能有一家投标人。如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理商参加投标，否则相关投标均做无效处理。

业绩要求

投标人应具有近3年内（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少3台及以上同类型和功能的有效加工幅面不小于30mm*30mm蒸镀设备供货业绩。【需提供合同复印件（包括合同首页、承包范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资料）】

4.资格后审

招标人将根据投标人提供的投标文件在评标阶段对其进行资格后审，对资格审查不合格投标人，将不进入下一阶段评审，其后果由投标人自行承担。

5.招标文件的获取

5.1招标文件发售方式本项目实行在线售卖招标文件。

5.2招标文件发售时间2026年1月12日23:59时至2026年1月18日23:59时（北京时间）。

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联系人：张培
电话：010-53658120
手机：13718359801 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：zhangpei@zbytb.com

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