进行国际公开招标采购。1.招标范围********货物名称：全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统********招标编号：***-***************项目概况：本次全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统设备招标采购旨采满足科研生产需求，其包含2个6英寸工艺腔（1个ICPCVD腔和1个PECVD腔）和与之配套的预真空腔、传片机构、控制终端、射频系统、真空系统、控...
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