采购政策情况预算金额(元)预计采购时间备注1季华实验室采购高质量多功能复合物理气相沉积系统标的名称：高质量多功能复合物理气相沉积系统标的数量：1主要功能或目标："可在金属、陶瓷等基材表面物理气相沉积制备多种成分与结构的单层或多层复合涂层，至少具备以下4个模块：（1）三英寸磁控溅射靶：≥3个，品字形或...
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