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华中科技大学面向高性能MEMS器件的玻璃基加工、ALD薄膜沉积集成与RCA阵列工艺开发采购项目询比公告
日期:2025-12-23 收藏项目
一、采购项目信息1.项目名称:华中科技大学面向高性能MEMS器件的玻璃基加工、ALD薄膜沉积集成与RCA阵列工艺开发采购项目2.项目编号:HW********/HBSF-GN********.项目概况:因科研工作需要,拟开展玻璃基底CMUT TGV及微结构集成加工、ALD薄膜沉积与阳极键合集成工艺开发、RCA行列寻址MEMS器件全流程工艺加工三项专项工艺加工服务采购;详细技术指标见第六章项目需求。4.预算总金额:人民币96万元,供应商报价超出预算金额的则视为无效响应。5.合同履行期限:签订合同后一年内完成技术服务并通过采购人验收。 二、供应商资格条件1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定;******** 具有独立承担民事责任的能力;******** 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;******** 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;******** 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;******** 参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有违法记录;******** 法律、行政法规规定的其他条件。2.供应商应出具参加政府采购活动前3年内在经营活动中无重大违法记录的声明,且在“****网站、中****网(********)查询无不良记录(以公告发布日期之后的查询结果为准)。3.本项目不接受联合体响应。4.特殊资格要求:无。

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