一、采购项目基本情况采购人：华润微电子(****公司采购项目名称：DAS AQUABATE-EPI scrubber维保采购项目编号：DZCGXY2********采购内容和范围：外延工艺DAS尾气处理装置维保，共计包含7个主机台，21台scrubber的维保，具体详见附件技术规范。是否采用费率寻源：否二、申请人资格要求1. 资格要求:必须至少满足如下的资格要求之一： 1. 为DAS尾气处理装置生产原厂，或其授权代理厂商(提供授权代理证书，如项目授权需明确为本项目授权，非本项目授权不予接受)；2. 非DAS原厂或授权代理厂商，需提供2023年1月1日至投标截止日半导体外延尾气处理设备DAS AQUABATE-EPI型号的维保业绩，累计金额不少于50万元人民币，提供订单或合同进行佐证（包含合同或订单首页，合同或订单日期，合同或订单签字或盖章页；若合同或订单无法证明型号，可以提供有业主签字的服务报告等型号佐证报告。）3. 非DAS原厂或非DAS原厂代理且无相关维保业绩，需提供关键部件Diffusion pipe和Diffusion plate到我司进行测试和上机验证，并由我司出具签字版验证通过报告。（关键部件参照“DAS尾气处理装置维保技术规范”）现场联系人： 曾瑜 联系方式：(请登录)
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