heta*闭环分辨率：≤20μ°；变更后的参数：Sample_Azi*闭环分辨率：≤25μ°；Sample_Theta*闭环分辨率：≤25μ°。变更2：“********位移台技术需求表2、表3、表4”项中的常规技术参数进行修改，具体修改如下：原招标参数：Sample_X行程：≥±15mm；Sample_Y行程：≥±15mm；Sample_Z行程：≥±15mm;ZP_X行程：≥±15mm；ZP_Y行程：...
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