称采购需求概况采购预算(万元)预计采购月份是否专门面向中小企业采购是否采购节能产品、环境标志产品备注1等离子增强化学气相沉积系统本项目为等离子增强化学气相沉积系统的采购，数量为1台。该设备主要实###路制造中介质层沉积，包括氧化硅、氮化硅等。样品尺寸不低于6英寸，且兼容破片，沉积片内均匀性≤3%，片..
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