一、采购项目基本情况采购人：华润微电子(****公司采购项目名称：【CQB********】VARIAN E500 ESC platen采购需求采购项目编号：DZCGXY2********采购内容和范围：【CQB********】VARIAN E500 ESC platen采购需求，具体要求详见附件RFQ是否采用费率寻源：否二、申请人资格要求1. 资格要求:2022年1月1日至今，报价厂商需在国内8寸晶圆生产线销售过一颗（含）及以上离子注入机ESC platen，提供订单或合同证明。
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