项目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：in-line深紫外涂胶显影系统********数量：1套********设备用途及系统组成：设备用途：in-line深紫外涂胶显影系统主要应用于量子传感、硅光等芯片的微纳结构制造过程中的光刻工艺，通过和深紫外光刻机在线联机，完成光刻胶旋涂合烘烤后，将晶圆直接传送到光刻机进行曝.

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