目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：半自动电子束蒸发镀膜机********数量：壹套********设备用途及系统组成：设备用途：半自动电子束蒸发镀膜机主要应用于量子传感、硅光等芯片在晶圆制造过程中的金属蒸发镀膜工作。系统组成：半自动电子束蒸发镀膜机主要由真空腔体、蒸发源系统、冷却系统和电源控制系统组.

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