目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：CD-SEM线宽全自动测量系统********数量：壹套********设备用途及系统组成：设备用途：CD-SEM线宽全自动测量系统主要应用于光栅磁光阱芯片、波导芯片的光刻工艺之后，200~1000nm分辨率光刻线宽的全自动测量。系统组成：CD-SEM线宽全自动测量系统主要由控制台、主机、载片...

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