一、项目基本情况 原公告的采购项目编号：OITC-G******** 原公告的采购项目名称：中国科学院半导体研究所高精度贴片打线耦合系统采购项目 首次公告日期：2025年12月02日 二、更正信息 更正事项：采购文件 更正内容： 招标文件“第八部分采购需求”中“包号3（自动耦合设备）（一）技术要求”作如下更正：（1）********耦合圆心共点结构 更正为：******** X*Y*Z行程：25*25*25mm；（2）#******** XYZ线性轴每轴行程不小于±******** mm，双向重复性≤ ******** μm，最小步距≤ ******** μm，最大速度25 mm/s，移动角偏摆≤ 100 urad 更正为：********对准精度:±50nm，双向重复精度：±50nm（3）********角度电控微调台，组成输入端、输出端的θX、θY、θZ三轴耦合，输入端、输出端的旋转中心各为一点, θX、θY角度调节范围为不小于± 6°，θX、最小步距≤ ********°θZ角度调节范围为不小于270°，最小步距≤ ********° 更正为：******** θX角度移动量:±6º，角度精度: θX≤********º 更正日期：2025年12月03日
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