项目进行国际公开招标采购。1.招标范围********货物名称:全自动缺陷测试显微系统********招标编号:***-***************项目概况:本设备主要由主机、传送系统以及缺陷处理分析软件系统组成。设备采用光学成像良品对比的方式,应用于量子传感项目中前道工艺的ADI和AEI后的晶圆缺陷检测工艺,可兼容检测和识别各类不规则瑕疵:划伤、颗..
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