1、招标条件
项目概况:福建省福联集成电路有限公司2025年等离子增强化学气相沉积设备采购项目(2)，招标人为福建省福联集成电路有限公司，项目资金为企业自筹，本项目已具备招标条件，现对该项目进行国际公开招标，邀请合格投标人就本项目下列货物和有关服务提交密封投标
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:福建省福联集成电路有限公司2025年等离子增强化学气相沉积设备采购项目(2)
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	等离子增强化学气相沉积设备	1台套	1. 一套六吋氮化硅沉积系统：包含无磁性铝合金腔体、进料缓冲室、八组气体管路与气体流量控制盘、双线圈热板(能够加热到的最高温度不低于400 ℃)、三个金属料盒共七十五片进料系统。2. 配置高压（HF generator）及低压（LF generator）等离子发生器各一台/套；3. 真空系统腔体干泵能力：极限底压<25 mtorr；腔体漏率：≦="" 20mtorr*l/min="" (压力变化量*体积/时间)；="" 4.="" 薄膜均匀性wiw=""><><>< 2.5%；="" 5.="" 设备预留通讯接口，用于自动化和数据传输；="">

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:2.1凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区（以下简称“合格货源国/地区”）的合格投标人均可参加投标；
2.2投标人应为有能力提供招标货物及服务的制造商或代理商；
2.3代理商应取得制造商针对本项目的唯一正式授权书原件（一个制造商对同一品牌货物，仅能委托一个代理商参加投标，否则其投标均视为无效；制造商直接参与投标的，不得再授权代理商参与投标，否则其投标均视为无效；一家代理商仅能对一个品牌的货物进行投标）；
2.4投标人所投等离子增强化学气相沉积设备同功能/同系列设备自2021年1月1日以来应具有不少于3项销售业绩（注：投标文件中须附上销售业绩的证明材料复印件）；
2.5本项目不接受联合体投标，不得转包和分包。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2025-12-02
招标文件领购结束时间:2025-12-09

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联系人：张培
电话：010-53658120
手机：13718359801 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：zhangpei@zbytb.com

下载招标公告:福建省福联集成电路有限公司2025年等离子增强化学气相沉积设备采购项目(2)国际(1)招标公告.pdf