范围：洁净机械手19台 招标编号：0730-254********5-12包名称：洁净机械手数量：19台简要技术要求：（1）洁净机械手是串接基板载具（cassette）与设备、设备与设备之间的基板搬送装置，并满足洁净需求。（2）RBT需满足玻璃规格：1500mm(W)*1850mm(D)；（3）Z轴高度的调节余量：≥100mm。 3.投标人资格要求 ********投标人资格要求：.
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联系人：方婷
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