增强原子层功能薄膜沉积设备采购进行公开招标。2.招标范围（1）项目名称：等离子体增强原子层功能薄膜沉积设备（2）数量：1套（3）交货期：合同生效后6个月内到货。（4）交货地点：中国航空制造技术研究院3.投标人资格要求（1）资质要求：①在中华人民共和国境内注册，为独立法人或其他组织。投标文件提供有效营业执照..

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