标范围：扫描式曝光机高性能机型需求10台 招标编号：0730-254********3-01包名称：扫描式曝光机数量：高性能机型需求10台简要技术要求：1）此次采购设备主要用于Array曝光系统，主要用途为通过曝光过程，将光罩上设计的图形完整转移至基板光阻上，完整的意义为大小与位置皆符合设计规格；2）适用基板尺寸：2250mm*2600mm；********

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