项目名称：电子束无掩膜版集成电路光刻系统

预算金额：400.000000万元

最高限价（如有）：叁佰陆拾万元整（￥3600000.00）

采购需求：

根据实际需要，本项目基于扫描电镜为基础的电子束曝光系统也是材料微区曝光的必备设备，配置电子束曝光组件可对涂胶样品做曝光及成像用，满足研究需求。

合同履行期限：自合同签订之日起，120个日历日内供货到位并完成项目

本项目（是/否）接受联合体投标：否

二、申请人的资格要求：

（一）满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：

1.具有独立承担民事责任的能力

2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度

3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力

4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录

5.参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录

6.法律、行政法规规定的其他条件

（二）落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

（三）本项目的特定资格要求：

1.未被“信用中国”网站列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单。

三、获取招标文件

时间：自招标文件公告发布之日起5个工作日

四、提交投标文件截止时间、开标时间

2025-12-12 09:30（北京时间）

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联系人：方婷
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