改造项目为实现应用高迁移率氧化物技术产###市场,实施本项目。项目基于现有设备,追加Nikon曝光机2台,追加SputterIGZ01台,追加附属自动化设备若干,主系统扩容及二次配工程(电力、CDA、PCW、排气、纯废水等+洁净室改造)。通过设备新增,产品结构提升,达成超大高迁产品的产能********/M,但B19的产能保持不变,维持目前产.
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