招标范围********货物名称：原子层沉积系统********招标编号：***-***************项目概况：该原子层沉积系统用于MEMS制造领域，在6英寸和8英寸晶圆上实现AlO（氧化铝）、TiN（氮化钛）等材料的高质量沉积。设备应具备高均匀性、高台阶覆盖能力（深宽比≥5:1），满足复杂三维结构薄膜沉积的需求。原子层沉积系统由反应腔、预真空腔、真..
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