光刻胶、薄膜等材料上加工微米级别###路图案。采购数量：1台质量要求：1.最大衬底尺寸：8英寸圆形，并且在配合对应的夹具时，可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片。2.基于主流操作系统的图形化控制软件，软件操作方便快捷，具有工艺编程、设备各部件控制、设备状态监控等功能，采用分级式用户管理，可设...
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：张培
电话：010-53658120
手机：13718359801 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：zhangpei@zbytb.com
下载招标公告:深圳医学科学院高精度紫外光刻机意向.pdf
