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上海交通大学高真空多功能复合薄膜沉积项目招标公告
日期:2025-11-10 收藏项目
一、项目基本情况 项目编号:招设2025A********/招标编号:0773-2541GNSHHWGK3436 项目名称:上海交通大学高真空多功能复合薄膜沉积项目 预算金额:1150.******** 万元(人民币) 最高限价(如有):1150.******** 万元(人民币) 采购需求:序号设备名称数量简要技术要求交货期交货地点设备一真空多腔体磁控溅射系统1套★********进样室电解抛光SUS316L不锈钢真空腔室,前开门设计:门采用双胶圈差分抽气密封;溅射室配备升降电缸,用于上盖的抬起,维护和腔室清理,外部配烘烤功能;其他详见招标文件合同签订后12个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格上海交通大学用户指定地点设备二超高真空低温电子束蒸发1套********进样/表面预处理腔室、电子束蒸发室2个以及氧化室,共计四个超高真空腔室,其中1套电子束蒸发支持在可确定的角度下的倾斜及旋转。其他详见招标文件设备三氧化铪原子层沉积设备1套********前驱体:不少于4个单管式50ml固体液体源,其中2个源瓶带加热器,加热精度:180±1 ºC;其他详见招标文件 合同履行期限:合同签订后12个月内完成所有设备的到货及安装调试验收合格 本项目( 不接受  )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:本项目非专门面向中小企业采购,执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、支持中小微企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品等相关政策。 3.本项目的特定资格要求:投标人在近三年(自招标公告发布之日起前三年内)内未被国家财政部指定的“****网站、“中****网”(********)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信名单。

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