项目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：in-line深紫外涂胶显影系统********数量：1套********设备用途及系统组成：设备用途：in-line深紫外涂胶显影系统主要应用于量子传感、硅光等芯片的微纳结构制造过程中的光刻工艺，通过和深紫外光刻机在线联机，完成光刻胶旋涂合烘烤后，将晶圆直接传送到光刻机进行曝.

本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：张培
电话：010-53658120
手机：13718359801 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：zhangpei@zbytb.com

下载招标公告:in-line深紫外涂胶显影系统招标公告.pdf