一、采购项目基本情况采购人：华润微电子(****公司采购项目名称：炉管工艺全新干泵购买采购项目编号：DZCGXY********采购内容和范围：8B 1台，6B 6台 炉管工艺全新干泵是否采用费率寻源：否二、申请人资格要求1. 资格要求:A.原厂需提供所投型号资料。B. 代理需提供代理授权证明，所投型号资料。 2. 业绩要求:自2022年至今，在8寸及以上半导体晶圆工厂内有销售排气量不小于500 m3/h全新干泵不小于50台，提供订单或合同进行佐证。 3. 技术要求:所供干泵产品技术满足此项目工艺及设备端的技术要求，详见RFQ。对于厂商所提供的干泵型号需要得到工厂的认可，如出现的新供应商或干泵新型号，模组要求Demo的，必须Demo认证合格后方可批量购买。
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