一、项目基本情况 项目编号：GZp********（SNZX-********） 项目名称：南京大学自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备 预算金额：237.******** 万元（人民币） 最高限价（如有）：237.******** 万元（人民币） 采购需求：本次采购1套自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备，设备内含低损伤刻蚀模式和电感耦合等离子体刻蚀模式，用于半导体或其它材料表面刻蚀处理。在原子层刻蚀模式时，能够对氮化镓，氮化硅，氧化铪等材料实现低损伤刻蚀；在电感耦合等离子模式时，能够对硅基和氮化镓等化合物半导体材料实现高精度刻蚀，具体详见招标文件。本项目采购标的所属行业为：工业。 合同履行期限：合同签订后6个月内。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目采用以下第（4）种方式落实政府采购促进中小企业发展的要求：（1）本项目整体专门面向中小企业采购货物。（2）本项目整体专门面向小微企业采购货物。（3）本项目通过以下第（）种方式预留部分采购份额采购中小企业货物：①本项目要求投标人以联合体形式参加，中小企业合同金额应当达到的比例为/%。②本项目要求投标人进行合同分包，中小企业合同金额应当达到的比例为/%。（4）本项目为非预留份额的采购项目或采购包，执行价格扣除优惠政策，具体详见第三章。 3.本项目的特定资格要求：无。
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