预算金额：1650.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：1650.000000 万元（人民币）
采购需求：
· 采购需求一览表：
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包件号 |
包件名称 |
标的名称 |
数量 |
预算 |
交货期 |
交货地点 |
简要技术要求/项目基本概况/用途： |
是否允许进口产品投标 |
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1 |
电感耦合等离子体 -反应离子刻蚀(ICPRIE) |
电感耦合等离子体 -反应离子刻蚀(ICPRIE) |
1台 |
1650 |
合同签订后6个月内具备发货条件，在收到采购人发货通知后2个月内送达采购人指定地点。 |
采购人指定地点 |
采购1台电感耦合等离子体 -反应离子刻蚀(ICPRIE)，该设备拥有两个独立的射频电源。额外引入的电感耦合等离子体源射频电源，是一个独立的高密度等离子体源，可通过感应耦合方式产生并维持极高密度的等离子体。再通过放置在样品下的偏压射频电源形成偏压，从而控制轰击样品表面的离子能量。设备可实现更高精度的刻蚀加工能力，具备更高深宽比、更高选择比和更低损伤。该设备对柔性器件的先进微纳图形转移和结构成型至关重要。 |
否 |
· 是否专门面向中小企业或小型、微型企业采购：否。
注：投标必须以采购包（也称为“包件”或“包”）为单位，对所投包件号中的所有内容进行投标，不允许将包件拆开投标,也不允许将几个包件合并报一个价格投标，评标、授标以包件为单位。
合同履行期限：自合同签订之日起至质量保证期结束。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：（1）本项目开标日前被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目的投标，[以“信用中国”网站和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）采购代理机构评标当日的查询记录为准]；（2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目的投标；（3）投标人必须通过下述第三条“获取招标文件”中规定的渠道获取了招标文件；（4）本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时间：2025年11月04日 至 2025年11月11日，每天上午8:30至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
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联系人：王越
电话：010-68819835
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