预算金额：96.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：96.000000 万元（人民币）
采购需求：
集成电路学院采购高低温真空探针台1套，主要配置及技术参数如下：
1.样品台
1.1尺寸：不小于6英寸。能固定整片与局部晶圆。
1.2 材质：无氧铜。
1.3样品台平整度：≤20μm
2.真空位移台
2.1样品台移动控制方式：手动及半自动系统。
2.2行程：XY：至少150mm（电动），Z：至少10mm（电动），Q：至少±5°（电动）
2.3定位精度：XYZ：≤3μm（电动），旋转轴Q：≤±0.001°（电动）
3.真空系统
3.1极限真空度： 10-5Torr
3.2 真空控制精度≤±10%
本项目不接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目(非专门)面向中小企业（监狱企业、残疾人福利性单位）采购。
合同履行期限：合同签订后90天内设备安装调试合格。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：无4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
三、获取招标文件
时间：2025年11月04日 至 2025年11月10日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
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联系人：张培
电话：010-53658120
手机：13718359801 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：zhangpei@zbytb.com
