采购政策情况预算金额(元)预计采购时间备注1广东省科学院半导体研究所面板级ABF等离子蚀刻设备采购项目标的名称：面板级ABF等离子蚀刻设备标的数量：1主要功能或目标：清除盲孔侧壁和底部金属表面残留树脂材料（如ABF）；蚀刻树脂材料的表面提高与RDL结合力;蚀刻残留光刻胶：去除CD开口底部残留光刻胶；蚀刻样品表面残留..
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