一、招标条件 本国###路创新中心光学关键尺寸OCD 量测设备已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为其他资金企业研发经费，招标人为上###路制造创****公司。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。二、项目概况和招标范围 规模：采购光学关键尺寸OCD 量测设备1 台，2025 年12 月30 日前到货并完成验收。半导体光学关键尺寸（Optical Critical Dimension OCD）量测设备，能实现亚纳米级量测，表###路制造前道工艺中复杂的3D 结构或器件，是先进工艺制程重要的良率监控方案。OCD 设备能实现3D 结构或器件的多维度尺寸量测，包括关键尺寸（Critical Dimension CD）间距、侧壁角度（Side Wall Angle SWA）、高度（Height）等。相比其他高端光学量测方案，OCD量测的优势包括：非接触量测、不损坏被量测样品、高量测吞吐率、高测试精度。 范围：本招标项目划分为1 个标段，本次招标为其中的： (001)光学关键尺寸OCD 量测设备;
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