况:为满足科研需求，现计划采购1套8英寸高真空电子束蒸镀系统，旨在实现大面积高质量薄膜的稳定制备。该系统必须能够提供优于9×10^-8Torr的极限真空环境，并确保在8英寸样品范围内的镀膜厚度均匀性优于±3%。核心蒸发源需配备4个容量为15cc的坩埚，且具备自动旋转选择坩埚及电子束自动扫描的功能。为达到真空要求，系统..
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