、1套自动传输转接腔、1套LoadLock腔，可实现金属溅射工艺、碳膜溅射工艺以及绝缘材料溅射工艺；腔室最高工艺温度≥1200°C；极限真空≤********；压升率≤********/h；支持最大晶圆尺寸6英寸；膜厚均匀性≤±3%。联系人:简老师联系电话:***-*******预计采购时间:2025-11备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步...
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联系人：王越
电话：010-68819835
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邮箱：wangyue@zbytb.com
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