温-1200℃；加热样品面积：20×20mm；连续加热72小时@1200℃，温度变化≤±50℃；真空检漏漏率：1E-8Pa·L/s中低温加热样品台：温度：-80℃-800℃；加热样品面积：50×50mm；连续加热72小时@800℃，温度变化≤±20℃；真空检漏漏率：1E-8Pa·L/s真空腔体：全不锈钢双层水冷真空室，尺寸Φ200×300mm；极限真空：********；真空检漏.

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