一、项目基本情况
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所有机物涂敷/清洗模块
预算金额：440.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：440.000000 万元（人民币）
采购需求：
采购1套有机物涂敷/清洗模块，完成8寸向下兼容非平整表面的光刻胶涂敷；将光刻胶自动高速旋转涂布在晶圆表面，曝光后自动高速旋转显影；清洗腐蚀非图形区域金属薄膜，实现晶圆上的金属图形化功能。具体详见招标文件。
合同履行期限：交货期：合同签订后6个月内。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目非专门面向中小企业的项目、节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、优先采购贫困地区农副产品等政府采购政策。
3.本项目的特定资格要求：1）近三年内（本项目招标截止期前）被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府招标网”网站列入政府招标严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；2）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一标包投标或者未划分标包的同一项目。
三、获取招标文件
时间：2025年09月30日 至 2025年10月14日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
……售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
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联系人：陈思颖
电话：010-82656698
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