与氮源在高温衬底表面反应，外延生长高钪掺杂AlScN薄膜；集成温控、压控、气流闭环系统，抑制分相缺陷，实现应力与掺杂均匀，提升压电性能，用于滤波器、传感器及功率器件制造。联系人:周老师联系电话:135********预计采购时间:2025-11备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关..
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：陈思颖
电话：010-82656698
手机：15801679990 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：csy@zbytb.com
下载招标公告:南方科技大学氮化物材料气相沉积设备-HT意向.pdf
