算金额（元）预计采购时间（填写到月）备注1超快激光光刻机高能并行多焦点光刻系统一套；普遍适用于各种材料蚀刻加工、以及透过率材料改性微结构、光敏材料打印悬垂微构件等。可实现500个以上并行多焦点，同时支持单焦点可编辑，同时支持780nm和515nm光刻，配备时###路，支持全自动拼接打印,自动对焦和自动调平。.
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：陈思颖
电话：010-82656698
手机：15801679990 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：csy@zbytb.com
下载招标公告:上海理工大学2025年10月政府采购意向.pdf
