、规格型号进行报价。一、 技术要求1、 货物清单序号货物名称单位数量规格型号1双极旋片真空泵件1Pfeiffer，Duo5M，极限真空度≤1×10-3 mbar，含真空信号接口及电源线2真空泵组套1Pfeiffer，HiCubeTM Eco，极限真空度≤1×10-6 mbar，含内置变频控制器、电源线及通信接口3隔膜泵件1Pfeiffer，MVP015-2，极限真空度≤1×10-3 mba.
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